Системы прямого привода

2D манипулятор с обратной связью
на 2-х координатной оптической решётке RGX (grid plate).


Особенности: якорь не имеет металлического магнитопровода, что гарантирует максимальная плавность перемещения, отсутствие реактивного зубцового усилия, высокие динамические характеристики.

Области применения: обрудование полупроводниковой и электронной промышленности.
 
Перемещение по оси X, Y, mm
  • 70 x 70 
Точность позиционирования по оси X, Y
  • +/-2 micron 
Максимальная скорость
  • 0.5 m/s 
Тип мотора
  • AC синхронный мотор без железного магнитопровода 
Датчик положения
  • X, Y: RENISHAW RGH-42B 

HOME