![]()
![]()
![]()
Системы
прямого привода
2D
манипулятор с обратной связью
на 2-х координатной оптической решётке RGX (grid plate).

Особенности: якорь не имеет металлического магнитопровода, что гарантирует максимальная плавность перемещения, отсутствие реактивного зубцового усилия, высокие динамические характеристики.
Области применения:
обрудование полупроводниковой и электронной промышленности.
| Перемещение по оси X, Y, mm |
|
| Точность позиционирования по оси X, Y |
|
| Максимальная скорость |
|
| Тип мотора |
|
| Датчик положения |
|