технология прямого привода

 Системы прямого привода

Планарные моторы

(2-х координатные)

Краткое описание конструкции:

Планарный линейный двигатель состоит из якоря (1) и индуктора (2). Индуктор выполнен в виде плоской плиты, несущей на своей рабочей поверхности периодическую зубцовую поверхность. Якорь включает две группы ортогонально расположенных электромагнитных модулей. Рабочая поверхность электромагнитных модулей (полюсов) имеет периодическую зубцовую структуру с определенным фазовым сдвигом от полюса к полюсу. Для образования воздушной подушки между индуктором и якорем, в последний встроена пневмосистема с воздушными жиклерами, Усилие передаётся непосредственно через воздушный зазор, т.е. отсутствует механическая передача. Это обеспечивает высокие точностные параметры мотора, долговременность сохранения параметров, надёжность.
Мы производим два типа линейных планарных моторов: планарный мотор без обратной связи по положению и планарный сервомотор с обратной связью по положению (на датчиках Холла)



Отличительные особенности:

  1. Идеальная повторяемость перемещения и долговечность благодаря магнито-воздушному подшипнику
  2. Независимое перемещение по двум осям
  3. Малые габаритные размеры по высоте встраивания в оборудование
  4. Простое построение многокоординатной системы в одной плоскости путем наращивания числа якорей
  5. Возможность реализации в одной плоскости нескольких координатных систем с пересекающимися траекториями

 

Области применения:
  1. Сборочные операции в микроэлектронике и сборочном производстве
  2. LSI и VLSI сварка
  3. Резка/установка кристаллов
  4. Probe monitoring.
  5. Поверхностный монтаж
  6. Элементная и блочная сборка
  7. Лазерные технологические комплексы
  8. Измерительные машины.
Технические характеристики:
Единицы измерения

PRM-P-1.00-
122-130-18

PRM-P-0.64-
146-154-18

PRM-P-0.64-
120-240-25

PRM-P-1.00-
181-240-25

PRM-P-1.00-
230-280-25

PRM-P-0.64-146-154-23

PRM-P-0.64-
168-320-34

PRM-P-0.64-
156-320-30

PRM-P-0.64-
175-320-30-HS

PRM-P-0.64-
154-221-25

PRM-P-0.64-
154-184-28-HS

PRM-P-0.64-
115-115-23

PRM-P-0.64-
380-360-48-HS

PRM-P-0.64-
115-154-23

Габаритные размеры якоря (AxBxH), mm

122 x 130 x 18   

146 x 154 x 18  

120 x 240 x 25   

181 x 240 x 25

230 x 280 x 25

146 x 154 x 23

168 x 320 x 34

156 x 320 x 30

175 x 320 x 30

154 x 221 x 25

154 x 184 x 28

115 x 115 x 23

380 x360 x 48

115 x154 x 23

Масса, kg

0,7

1,1

1,5

2,1

3.2

1.8

4.3

3.7

3.7

2.3

1.7

0.7

12.0

1.2

Расход сжатого воздуха, litr/min

4

4

6

9

17.5

6.6

12.8

21

21

11.6

6.4

3.2

36.2

5.0

Номинальный ток /фазу, A

1,5

1,5

1,5

1, 5

3.0

3.0

3.0

3.0

3.0

3.0

3.0

3.0

6.0

3.0

Сопротивление/фазу, Ohm

3,9

5,6

4,0

3,9

2.5

1.5

2.3

1.5

1.5

1.4(0.8)

0.8

0.5

0.4

0.5

Индуктивность/фазу, mH

8.1

11

8.4

8.1

6.3

1.3

4.6

3.6

3.6

3.6(1.8)

1.9

0.8

0.9

0.8

Усилие, N:

по координате X

по координате Y

25

25

50

50

68

68

90

90

170

170

75

75

180

180

140

140

140

140

140

70

75

75

28

28

350

350

25

25

Повторяемость, микрон

3

3

3

3

3

3

3

3

3

3

3

3

3

3

Точность позиционирования, микрон

±25

±25

±25

±25

±15

±10

±10

±15

±10

±10

±10

±10

±10

±10

Разрешение, micron

3

3

3

3

3

1

1

1

1

1

1

1

1

1

Габаритные и присоединительные размеры

Show

Show

Show

Show

Show

Show

Show

Show

Show

Show

Show

Show

Show

Show

Примечание:
Номинальное давление сжатого воздуха 3,2+/-0,1 Атм.
HS - мотор имеет встроенные датчики положения (close-loop control)

Home