Системы прямого привода
                                        
  "Рухсервомотор"

 

WIRE-BONDER на базе линейный синхронных двигателей

манипулятор на базе синхронных двигателей

Фото XYZманипулятора для WIRE-BONDER

Nr.
Параметры
Ед.
1
Перемещение X, Y, Z
mm
220 x 120 x12
2
Пиковое динамическое усилие
N
200 (I=10Arms)
3
Максимальная скорость
m/s
2
4
Пиковое ускорение
m/sec2
20
5
Ошибка по положению
mkm
5 *
6
Разрешение
mkm
0.03
7
Повторяемость
mkm
1 *
8
вес устройства
kg
~ 65
9
Габаритные размеры (ось Z в верхнем положении)
mm
545x480x170
10
Датчик положения Position encoder
-
Renishaw RGH22B 1Vptp
* - при постоянных температурных условиях